乙硅烷
產(chǎn)品詳情
氣體簡介
乙硅烷是一種無機(jī)化合物，其化學(xué)式為Si2H6，在常溫常壓下為無色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體。它具有與硅烷類似的化學(xué)性質(zhì)，但其反應(yīng)性比硅烷更強(qiáng)。它比硅烷更不穩(wěn)定，在室溫緩慢分解成硅烷和氫。在300～500℃分解成為SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。主要用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學(xué)氣相沉積等方面。
基本性質(zhì)
乙硅烷為無色透明液體，在空氣中自燃，著火點低于室溫，遇到空氣即瞬間燃燒，并分解成為SiH4和H2。燃燒濃度范圍寬，濃度在0.2%以上時，燃燒發(fā)出火焰；濃度在0.2%以下時，進(jìn)行氧化反應(yīng)生成白色的SiO2。在氯氣中爆炸性地燃燒。與鹵素氣體爆炸性地反應(yīng)，但如果是在低溫，則適度地進(jìn)行鹵化。與SF6接觸則爆炸。與四氯化碳和氯仿激烈反應(yīng)。與堿金屬及汞合金反應(yīng)分解生成硅烷和氫。與苛性鉀作用游離出H2。與純水和酸不反應(yīng)，但與堿反應(yīng)生成硅酸鹽和氫。即使從玻璃中溶解出的那種程度微量堿的存在，也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl雜質(zhì)的存在下，在常溫也緩慢地分解。
Si2H6—→ SiH4+ (SiH2)x
乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蝕橡膠、黃油類、潤滑油、鉛等，但對大多數(shù)金屬不腐蝕。
主要用途
1、用于太陽能電池、感光轉(zhuǎn)筒、非晶硅膜、外延成長、氧化膜、氮化膜、化學(xué)氣相沉積等方面。在太陽能電池生產(chǎn)中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉積速度快得多，且溫度可降低200～300℃。 在離子注入中，以乙硅烷作離子源后易起輝、束流強(qiáng)，效果明顯好于用其他氣體作離子源。
2、在半導(dǎo)體工藝中用于外延和擴(kuò)散工藝，也用于太陽能電池和電子照相用的感光鼓。
