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氣體管道工程中常說的氦氣檢漏（氦檢）是怎樣的？

在氣體管道工程中，由于施工中的各種因素，在一些管道的連接處可能會有一些肉眼難以察覺的小孔，使用時會導致泄漏，造成事故。特別是在半導體、集成電路等微電子行業中，

如果發生泄漏，輸送超高純電子特殊氣體的燃氣管道工程將對生產安全產生很大影響，因此檢漏非常重要。

一.常說的氦檢是什么？

首先，我們要了解，氣體管道的五項測試是QC中最重要的一部分，這五項測試分別是：保壓測試、氦氣檢漏測試（氦檢）、水分測試、氧分測試和顆粒測試，確保氣體管道系統的

品質達到一定的水準和滿足客戶的需求。

二.氦氣是如何檢漏的呢？

眾所周知，在元素周期表中，氦（He）的相對分子質量是除氫（H）以外最小的，是最輕的惰性氣體。氣體管道的氦氣檢漏（氦檢）利用的就是這一點。

1.高純度散裝氣體管道氦氣檢漏方法應采用向內檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。

2.向內檢漏法（氦氣注入法）是通過內部吸入高純度氣體管線，外部噴射氦氣來進行的

3.檢測閥座泄漏的方法必須在閥門前充入氦氣，并在下游抽真空

4.必須使用朝外檢漏法（吸槍法）在高純度氣體管線內填充氦氣或氦氮混合物，并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點

5.氦檢漏儀必須是質譜氦檢漏器，檢測精度不低于1

6.高純氣體氦氣檢漏的泄漏率應符合下列要求：

（1）通過向內泄漏檢測方法測得的泄漏率不得超過1.10-9 mbar l/s

（2）閥座泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s

（3）向外泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s

7.氦檢漏發現的泄漏點修復后，必須重新進行氣密性試驗，合格后，再按規定進行氦檢漏

8.所有可能的泄漏應使用塑料袋進行隔熱

9.系統測試后，用高純度氮氣或氬氣填充和清潔

10.檢查后，應提交試驗報告